太陽光発電向けモリブデンスパッタリングターゲット(再生可能エネルギー)

太陽光発電業界でワット単価低減を求める急速な動きに対応するため、エイチ・シー・スタルクは、薄膜太陽光発電(TFPV)用途向けの平板型および円筒形スパッタリングターゲットを積極的に促進しています。

エイチ・シー・スタルクはCIGS、a-Si(アモルファスシリコン)およびCdTe薄膜太陽光発電モジュールの製造者に重点を置き、モリブデン(Mo)スパッタリングターゲットを供給しています。

  • 円筒形および平板型ターゲット
  • モリブデン:CIGSおよびCdTe

エイチ・シー・スタルクでは、より有効に薄膜と材料加工の研究開発を行っていくために、最先端の研究設備に多くの投資をしています。社内には、製品分析ツールに加え薄膜特性試験装置も備えた薄膜材料研究施設などを設けており、エイチ・シー・スタルク社内でプロトタイプの作製、モデリング、様々な分析など一貫したサービスをご提供します。

高品質のスパッタリングターゲット

エイチ・シー・スタルクはモリブデン、タングステン、タンタル、ニオブメタルのリーディングメーカーであり、加工分野では、薄膜コーティング用スパッタリングターゲットの垂直統合型サプライチェーンが確立されています。製造施設において、あらゆる仕様の各種スパッタリングターゲットを生産しています。

  • 高品質のスパッタリング材
    • 高純度、Fe、Ni、Crの含有量が低い
    • 高密度
    • 化学的かつ金属的(冶金後)均質性
  • 平板型スパッタリングターゲット
    • 高純度
    • 寸法精度と精密な公差
  • 円筒形スパッタリングターゲット
    • 押し出し一体型の円筒形ターゲット
      • 最高密度と成膜率
      • 長いターゲット寿命と高使用効率
    • 単一スリーブタイプ円筒形ターゲット
    • 垂直統合された製造工程
  • 革新的な研究開発

革新的な研究開発

エイチ・シー・スタルクは、薄膜の研究開発に力を注いでおり、高融点金属製スパッタリングターゲットの経験豊富な先端金属技術者を専任で配属しています。お客様に貢献するため、高度な製造力と分析力に継続的に投資し、これらを磨き続けています。エイチ・シー・スタルクは光学顕微鏡と電子顕微鏡を完備した薄膜材研究所で、薄膜特性に合わせた機材を使用し、平板型および円筒形スパッタリングターゲットを評価しています。材料研究所では、分析ラボのサポートを得ながら評価用ターゲットを製造しています。高度な材料モデリングおよびシミュレーション能力が、エイチ・シー・スタルクのスピーディな新製品開発を支えています。

  • 包括的な薄膜応用研究施設
    • 平板型および円筒形ターゲット成膜チャンバ
      • 膜抵抗力試験
      • 密着試験
      • コスパッタ設備による組成最適化
    • 冶金研究所
      • 光学顕微鏡
      • SEMによるEDXおよびEBSD解析
      • 機械的試験/硬度
    • 広範な分析能力
      • IGAガス分析
      • ICP
      • GDMS
  • 各分野の研究開発技術者
    • 高融点金属技術分野で活躍
    • 革新的なテクスチャコントロールで膜の均一性と性能一貫性を強化
    • 数百の特許と技術文書の公開
  • 材料加工研究施設
    • CIP
    • 圧延(変形)
    • 熱間等方圧プレス(HIP)
    • 熱処理

垂直型統合されたサプライチェーン

世界有数のモリブデン、タングステン、タンタル粉末原料生産メーカーであるエイチ・シー・スタルクは、これらの高機能材料を垂直統合された自社工程内で、還元、プレス、焼結、最終仕上げまで行い、製品をマーケットへ供給しています。例えば、平板型や円筒形ターゲットを生産するためには、高純度の酸化モリブデン(MoO3)を金属モリブデンに還元し、圧延または押し出し加工処理を施し、お客様が希望する仕様に合わせて作製します。エイチ・シー・スタルクの押出機で製造された円筒形ターゲットは、極めて高い密度と低い酸素レベルを備えており、優れたスパッタリングパフォーマンスを提供します。

エイチ・シー・スタルクは他では類を見ない、高融点金属では世界最大クラス5000トンの直接押出機を備えています。内径を125mm(非ボンディングタイプ:一体型)または内径135mm(ボンディングタイプ)とし、長さ、径においては市場要求仕様以上のモリブデン円筒形ターゲットが製造可能です。タンタル、ニオブ、などの材料でも同様に、平板型および円筒形ターゲットの製造が可能です。4m以上のターゲットも製造致します。

エイチ・シー・スタルクは優れたサービスと知識豊かな専門知識を生かして、高融点金属用途において最高のソリューションを提供します。


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