結晶育成装置用モリブデンおよびタングステン製品

サファイア結晶育成炉に使用されるモリブデンおよびタングステン

エイチ・シー・スタルクの製品群は、サファイア結晶育成産業で用いられる優れた高温炉に不可欠な製品でLED市場を支えています。LED生産で使用されるサファイア結晶育成用のカスタムメイド高温真空炉またはアルゴン雰囲気炉の製造は、めざましい成長を遂げています。こうした育成炉は、緻密な管理下で結晶を育成させるため、るつぼ内のアルミナ溶解にふさわしい独自かつ要求の厳しいホットゾーン設計を備えています。

エイチ・シー・スタルクはKY、EFG、CZ、HEM系CHES、VHGFを含む各種サファイア結晶の育成方法に精通し、すべての技術プラットフォームに合わせて設計された製品ソリューションを供給しています。

サファイアを育成させる炉内のホットゾーンでは、コンポーネントにエイチ・シー・スタルクのモリブデンおよびタングステン製品が使用されています。こうした高温材は高い熱伝導性と電気伝導性、低い熱膨張係数、温度2000°C以上の環境下での優れた強度と安定性などの特性を備えています。

お客様固有のニーズに合わせた高温育成炉コンポーネントは、エイチ・シー・スタルクによって独自に設計され、供給されています。モリブデンおよびタングステン板、シート、箔を使用した以下の加工品を取り扱っています。

  • シードホルダー
  • リフレクター
  • ヒーター
  • その他サポートコンポーネント

LED製造向け蛍光体に用いられるモリブデンおよびタングステン炉コンポーネント

LED製造工程ではMOCVD装置が重要な役割を果たします。エイチ・シー・スタルクは、モリブデンおよびタングステン材から複雑なアッセンブリ構成まで対応します。

  • コレクターリング
  • ヒーター
  • ウェハーキャリア
  • ヒートシンク


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