フラットパネルディスプレイ向けスパッタリングターゲット

エイチ・シー・スタルクは多様かつ高性能な製品群、薄膜スパッタリングに用いられる高融点金属ソリューションを提供しています。エイチ・シー・スタルクの平板型および円筒形スパッタリングターゲットは、フラットパネルディスプレイ、他携帯端末用バリア層、TFT電極、)などに採用されています。

エイチ・シー・スタルクが取り組んでいる最新のイノベーションは、タッチパネル(TP)向けのスパッタリング合金です。カーブ状のフレキシブルタッチスクリーンは最新型のHDTV、スマートフォン、タブレット、携帯機器技術で使用されています。こうした機器のタッチスクリーンでは、バリア膜、導電膜などの薄膜を作るために、エイチ・シー・スタルクのモリブデン-ニオブ(MoNb)のスパッタリングターゲットが使用されています。

エイチ・シー・スタルクのモリブデン-タングステン(MoW)平型ターゲットは、TFT-LTPSおよびインセル型タッチパネルのゲートやタッチセンサ層に使用されています。

DynaMo Alloysは、モリブデンベース合金の最新製品ラインで、電気特性、耐腐食性やエッチング特性の実現のため合金をカスタマイズし、TP用途における信頼性をより高める特性を、実現しました。円筒形ターゲットの最大長が4100mm、平板型ターゲット(第5世代まで)の最大サイズまで製造可能です。

こうした新規合金開発を可能にするのは、エイチ・シー・スタルクの薄膜特性に対する専門知識とテクスチャのESBD分析が重要です。カスタマイズ合金の開発では、粉末治金技術、高温圧延、押し出し、回転鍛造など、高融点金属の独自工程が活用されます。

平型スパッタリングターゲットは、最大第5.5世代のモリブデン板で、1580x1950mm、セグメントタイプでは第8世代のターゲットまで製造可能です。

エイチ・シー・スタルクは薄膜の研究開発に関与するなかで、最先端の研究施設に投資しています。社内には、平板型および円筒形スパッタ装置、薄膜分析装置を備えた研究所が設けられています。お客様のプロトタイピング、モデリング、分析に貢献します。

最高品質のスパッタリングターゲット材

エイチ・シー・スタルクはモリブデン、タングステン、タンタル、ニオブメタルのリーディングメーカーに挙げられており、加工分野では、薄膜コーティング用スパッタリングターゲットの強固な垂直統合型サプライチェーンが確立されています。製造施設において、あらゆる設定の各種スパッタリングターゲット材を生産しています。

  • 高品質のスパッタリング材
    • 高純度、Fe、Ni、Crの含有量が低い
    • 高密度
    • 化学的かつ金属的(冶金後)均質性
  • 平板型スパッタリングターゲット
    • 高純度
    • 寸法精度と精密な公差
  • 円筒形スパッタリングターゲット
    • 押し出し一体型の円筒形ターゲット
      • 高密度と成膜率
      • 長いターゲット寿命と材料の高使用効率
    • 単一スリーブタイプ円筒形ターゲット
    • 垂直統合された製造工程

革新的な研究開発

薄膜の研究開発に関与するエイチ・シー・スタルクは、高融点金属製スパッタリングターゲットの経験豊富な先端金属技術者を専任で配属しています。お客様に貢献するため、高度な製造力と分析力に継続的に投資し、これらを磨き続けています。エイチ・シー・スタルクは光学顕微鏡と電子顕微鏡を完備した研究施設で、薄膜特性に合わせた機材を使用し、平板型および円筒形スパッタリングターゲットを評価しています。材料研究施設では、分析ラボの補助を得ながら評価用ターゲットを製造しています。高度な材料モデリングおよびシミュレーション能力が、エイチ・シー・スタルクのスピーディな新製品開発を支えています。

  • 包括的な薄膜応用研究施設
    • 平板型および円筒形ターゲット成膜チャンバ
      • 膜抵抗力試験
      • 密着試験
      • (コスパッタ設備による組成最適化)
    • 冶金研究所
      • 光学顕微鏡
      • SEMによるEDXおよびEBSD解析
      • 機械的試験/硬度
    • 広範な分析能力
      • IGAガス分析
      • ICP
      • GDMS
  • 各分野の研究開発技術者
    • 高融点金属技術分野で活躍
    • 革新的なテクスチャコントロールで膜の均一性と性能一貫性を強化
    • 数百の特許と技術文書の公開
  • 材料加工研究施設
    • CIP
    • 圧延(変形)
    • 熱間等方圧プレス(HIP)
    • 熱処理

垂直統合されたサプライチェーン

エイチ・シー・スタルクはすべての耐熱金属用途のため最高のソリューションを選択するお客様をサポートし、世界30カ所の地域サポートにより、優れたサービスと知識豊かな専門知識を提供します。

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モリブデンの製品データシートをご覧ください:

PD-7040 PURE MOLYBDENUM Powder Metallurgy Target ST-100-1


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