タッチパネル用モリブデン-ニオブスパッタリングターゲット

エイチ・シー・スタルクは革新的なアイデアにより、タッチパネル(TP)用途でも新しい合金スパッタリングターゲットを開発し、市場に送り出してきました。最新型のHDTV、スマートフォン、タブレット、携帯機器ではカーブ状の画面やフレキシブルタッチスクリーンが使用されてきています。こうした機器のタッチスクリーンでは、バリア膜、導電膜などの薄膜を作るために、エイチ・シー・スタルクのモリブデン-ニオブ(MoNb)のスパッタリングターゲットが使用されています。

エイチ・シー・スタルクの利点

エイチ・シー・スタルクの強みは一体型ターゲットの製造技術にあります。弊社で円筒形ターゲットの作製の際の使用する押し出し成形は、相対密度が熱間等方圧プレス(HIP)と比べて高く、優位点として挙げられます。弊社世界最高水準の押し出し成形技術は、多種多様な材料、形状、サイズ、長さの製品の作製を可能にし、薄膜分野のみならず他アプリケーションにも多くの製品を供給しています。

ニオブ合金はエッチングコントロールがし易く、優れた耐腐食性を備えた膜の製造を可能にします。

最新のスパッタリングターゲット

DynaMo合金はモリブデンをベースに組成をカスタマイズした最新製品です。電気的特性、耐腐食性、及びエッチング特性の最適化を実現し、TP用途において高い信頼性を得ることが出来ます。これらの合金ターゲットも円筒形ターゲット最大長4100mm、平板型ターゲット(第5世代まで)最大サイズ、セグメント(タイル)ターゲットまで供給可能です。

このような革新的な合金開発は、弊社開発陣の長年の経験と豊富な知識、また弊社特有の高融点金属の加工実績、設備、ひいては粉末原料まで遡り工夫を加えていける環境を持って初めて成しえています。


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